多晶硅作為吸附劑去除三氯氫硅中的雜質(zhì)

優(yōu)勢與應(yīng)用特點
高選擇性：對金屬陽離子和部分非金屬鹵化物的吸附能力強，尤其適合三氯氫硅體系的提純需求。
化學(xué)穩(wěn)定性：在酸性、中溫（<100℃）環(huán)境下不易溶解或分解，可多次再生使用（通過酸洗或熱解脫附雜質(zhì)），降低成本。
環(huán)保性：作為無機吸附劑，相比有機吸附劑更易處理，且鋯元素?zé)o毒，不會引入新的污染。