高純氟化釔在陶瓷涂層中的作用

氟化釔（YF?）在陶瓷涂層中，核心作用是：極強(qiáng)的耐氟等離子體腐蝕、提升涂層致密度與結(jié)合力、降低顆粒污染、改善高溫穩(wěn)定性，是半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備、紅外光學(xué)、航天高溫部件的關(guān)鍵功能添加劑與主涂層材料。
1. 半導(dǎo)體設(shè)備：抗氟等離子體腐蝕（最核心用途）
耐等離子體侵蝕：在 F?、CF?、C?F?、SF? 等氟基等離子體中，穩(wěn)定性遠(yuǎn)高于 Al?O?、Y?O?，幾乎不反應(yīng)、不分解。
抑制顆粒污染：YF?涂層致密、低孔隙、不易剝落，大幅減少晶圓微顆粒缺陷，提升芯片良率。
低蝕刻速率：比氧化釔（Y?O?）更耐刻蝕，延長(zhǎng)腔體、襯底環(huán)、聚焦環(huán)壽命。
絕緣與介電穩(wěn)定：高絕緣、低漏電，適合等離子腔體、靜電卡盤（ESC）防護(hù)。
2. 復(fù)合陶瓷涂層：致密度、力學(xué)、界面改性
提高致密度：YF?熔點(diǎn)低（~1152℃），噴涂時(shí)助熔、填充孔隙，涂層孔隙率可