氧化劑CAN制備氧化鈰薄膜

山東德盛新材料有限公司 2026-03-14 15:10:23

氧化劑CAN制備氧化鈰薄膜
在半導(dǎo)體器件制造中，可通過化學(xué)氣相沉積技術(shù)制備氧化鈰絕緣薄膜。如在集成電路制造工藝中，采用該技術(shù)制備的絕緣膜，絕緣電阻可達(dá)\(10^{12}\)Ω 以上，提高了半導(dǎo)體器件的性能和可靠性。
英文名Diammonium cerium(IV) nitrate
分子式：(NH4)2Ce(NO3)6·2H2O
硝酸鈰銨分子量：584.23
CAS . :16774-21-3
外觀性狀：桔紅色單斜晶系細(xì)小結(jié)晶，易溶于水，有潮解性，密閉保存。

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