文章摘要: 光譜共焦傳感器測量原理光譜共焦傳感器測量利用了像差透鏡偏差的物理現(xiàn)象。通過使用特殊的鏡片,可以擴(kuò)大不同顏色光的焦暈范圍,形成特殊的放大色差。根據(jù)被測物體與透鏡之間的距離,可以將波長精確的光聚焦在被測物體上。通過測量反射光的波長,可以獲得物體
光譜共焦傳感器測量原理
光譜共焦傳感器測量利用了像差透鏡偏差的物理現(xiàn)象。通過使用特殊的鏡片,可以擴(kuò)大不同顏色光的焦暈范圍,形成特殊的放大色差。根據(jù)被測物體與透鏡之間的距離,可以將波長精確的光聚焦在被測物體上。
通過測量反射光的波長,可以獲得物體和透鏡之間的精確距離。為了得到上述特殊的色差,必須在光譜共焦傳感器探頭上使用一些特殊的透鏡,按照要求的范圍分解光線。然后光譜共焦傳感器探頭發(fā)出的光被凸透鏡聚焦在一個(gè)軸上,形成所謂的聚焦軸。
白光通過半透鏡到達(dá)凸透鏡。這里可以產(chǎn)生特殊的色差。光束照射在被測物體上后,光譜共焦傳感器探頭的半透鏡通過凸透鏡返回。半透鏡將反射光折射至穿孔的蓋子上,因此它只能通過理想聚焦的反射光。通過孔蓋的光是一組模糊光譜,即一些不同波長的光可以通過光圈照射至CCD光敏矩陣單元上。
光譜共焦傳感器特色
光譜共焦傳感器用于快速距離和厚度測量。不同的傳感器型號和控制器接口開辟了各種應(yīng)用領(lǐng)域,例如,半導(dǎo)體工業(yè)、玻璃工業(yè)、醫(yī)療工程和塑料生產(chǎn)。
光譜共焦傳感器幾乎各種表層的高精度位移和距離測量。即使在漫反射和反射面上,共焦色度測量原理也可以實(shí)現(xiàn)高精度的位移和距離測量。由于測量點(diǎn)的尺寸很小,因此可以檢測非常小的物體。軸向光路避免了陰影效應(yīng),即使在套筒和凹槽中也能進(jìn)行測量。
為了獲得較大精度,光譜共焦傳感器必須盡可能垂直于被測物體??烧{(diào)適配器用于快速將所有光譜與目標(biāo)對準(zhǔn)。也可以在傳感器安裝到機(jī)器后對其進(jìn)行校準(zhǔn)。工業(yè)適配器允許在X和Y軸上移動,并使傳感器向測量對象傾斜。
本文主要介紹光譜共焦傳感器的測量原理??梢灾拦庾V共焦傳感器是用于快速測距測厚的。光譜共焦傳感器測量利用了像差透鏡偏差的物理現(xiàn)象。通過使用特殊的鏡片,可以擴(kuò)大不同顏色光的焦暈范圍,形成特殊的放大色差。根據(jù)被測物體與透鏡之間的距離,可以將波長精確的光聚焦在被測物體上。
光譜共焦傳感器原理
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