PTFE晶圓夾耐腐蝕耐高溫支持定制

1. 核心材料：聚四氟乙烯

化學(xué)名： PTFE（Polytetrafluoroethylene），俗稱“特氟龍（Teflon）”。

關(guān)鍵特性：

超高純度： 幾乎不含金屬離子，避免污染晶圓。

好的化學(xué)穩(wěn)定性： 耐受幾乎所有強(qiáng)酸、強(qiáng)堿、有機(jī)溶劑。

優(yōu)異的熱穩(wěn)定性： 工作溫度范圍廣（-200℃ ~ +260℃）。

低的表面能： 不粘附，易于清潔，顆粒不易附著。

良好的電絕緣性。

2. 主要類型與結(jié)構(gòu)

花籃/卡匣： 用于批量濕法清洗、蝕刻、去膠等槽式工藝。具有多個(gè)平行槽，可同時(shí)放置多片晶圓。

單片夾具： 用于單片清洗機(jī)或蝕刻機(jī)，一次處理一片晶圓。通常設(shè)計(jì)有精密的卡扣或支撐點(diǎn)，確保液體均勻覆蓋。

手臂末端執(zhí)行器： 機(jī)器人用于抓取和傳輸晶圓（通常為真空吸盤或機(jī)械夾爪），PTFE涂層或整體制成，防止接觸污染。

擋片/假片： 用于填充空位、保護(hù)或工藝均勻性，也常用PTFE制成。

3. 應(yīng)用場(chǎng)景

濕法工藝： 清洗、蝕刻、去光刻膠等。

化學(xué)品存儲(chǔ)與輸送： 用于高純化學(xué)品的容器、管道、閥門。

對(duì)金屬污染極敏感的高端工藝： 如先進(jìn)邏輯芯片、存儲(chǔ)器的制造。