高溫坩堝材料氧化釔（三氧化二釔）

氧化釔應(yīng)用
主流應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造（核心應(yīng)用）
刻蝕機(jī)腔體、靜電吸盤（ESC）：抗氟等離子腐蝕，低金屬污染，保護(hù)晶圓。
陶瓷涂層：沉積在腔體內(nèi)壁，延長壽命。
光學(xué)與激光
紅外窗口 / 整流罩：用于導(dǎo)D彈、紅外熱像儀、高溫爐觀察窗。
激光介質(zhì)：摻 Nd3?、Yb3?的 Y?O?陶瓷，用作高功率固體激光增益介質(zhì)。
結(jié)構(gòu)與耐高溫
高溫坩堝：熔煉貴金屬、稀土金屬。
航空航天：火箭噴嘴、發(fā)動機(jī)熱端部件。
機(jī)械密封：化工、泵業(yè)的耐磨耐蝕密封環(huán)。