氟化釔在陶瓷涂層中的具體應(yīng)用

刻蝕機(jī)腔體內(nèi)襯 / 屏蔽罩 YF?涂層
部件：鋁腔體、內(nèi)襯、擋板
工藝：介質(zhì)刻蝕、金屬刻蝕（CF?/SF? 氟等離子體）
原方案問題：
Y?O?涂層易被氟等離子刻蝕、掉粉、良率波動大，壽命只有 1～2 個(gè)月
使用 YF? 涂層后效果
耐氟等離子腐蝕提升 3～5 倍
顆粒污染大幅下降，晶圓良率提升 0.5%～2%
部件壽命從 1～2 個(gè)月延長到 6～12 個(gè)月