SEREN射頻電源維修射頻匹配器R301MKⅡ R601
閆工
2026-01-13 13:44:06
R系列射頻電源：R301-13、R601-13、R1001-13、R1001/1.2、R2001-13、R5001-13、R5001-13、R10,001-13、R15,001-13、R20,001-13，R600
HR系列射頻電源：HR601、HRL1001、HR1501、HR2001-AC、HR2001、HR3001、HR5001
L系列低頻電源：L301、L601、L1001、L2001、L3001、L5001I系列射頻電源
用于ICP領域AT系列自動匹配器：AT-3、AT-6/100、AT-6/500、AT-10、AT-20、AT-30、AT-50/120、AT-50/140、AT-100/160、AT150/180、AT-250/250
射頻電源維修注意事項：
在更換完器件后,上電前應對其相關器件進行測量,是否出現短路現象(如整流橋、IGBT管、電源輸入輸出部分、功率器件輸入輸出等等)
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